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深紫外傳遞函數測量

2019-12-23 分享

    紫外檢測鏡頭的應用越來越多,尤其是在半導體行業應用更加廣泛,為了確保鏡頭的成像質量和設備的性能,需要測量紫外光學系統的傳遞函數。但國內紫外傳函測試儀較少,難以滿足特定檢測需要,光電所依托國家重大專項任務研制建立深紫外傳遞函數測試平臺,可以實現傳函自動測量,同時可以測試鏡頭的景深和倍率。測試平臺穩定可靠,在半導體制造行業內具有廣闊的應用前景。

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