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納米壓印技術

2019-12-23 分享

  納米壓印技術是一種高分辨率的光刻技術,采用納米圖案的剛性模具將基片上的聚合物壓出納米級圖形,再對壓印件進行常規的刻蝕、剝離等加工,最終制成納米結構和器件。

  紫外壓印光刻技術結合高精度莫爾條紋對準技術可實現從微米到納米的跨尺度圖形加工。融合紫外光刻與納米壓印兩大微納加工技術,在同一加工平臺上能夠滿足絕大多數微納器件的制作需求。采用莫爾條紋高精度對準技術,利用莫爾條紋放大效應,通過相位解析實現高精度對準,對準精度達到納米量級,能夠滿足多層復雜納米結構加工的需要。
  

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